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반도체 장비

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VACUUM DRY CHAMBER M/C
본 장비는 PET 필름 증착 전(공정 프로세스) Outgassing 및 품질 균일성을 목적으로 개발된 장비.
제품소개
SPECIFICATIONS
Vacuum Dry Chamber(Roll to Roll)
Temp. Range R. T+5℃ ~ ±200℃
Inside Dimension(mm) 1400W × 1550D × 1700H
Temp. Constancy PID Control (SSR Type) ±0.5℃이내
Accuracy ±2.0%℃
Material Interior : STS304, Exterior STS 304 or SS41 Coating
Base Pressure 50mm 이하.(Servo Motor & Rewinding Method)
Heating Time R.T → 200℃/40min, R.T → 200℃/60min
Safety Devices · Earth Leakage Breaker
· Over Heat Breaker
· Protection Fuse