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반도체 장비

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AUTO ZUST (자동 벨브 제어기)
자동벨브 제어기는 독성Gas가 가장 많이 배출되고 잔류되는 챔버 하단 및 펌프 스크루버 전달에 설치 되어 공정상 발생되는 사고를 예방하고 정화한다.
Vortex의 원리와 Venturi의 원리를 이용하여 공기의 증폭으로 인한 신속한 배출이 가능하다. 흡입부와 중간부의 회오리 구조로 신속한 배출이 가능한 것이다. 또한 반도체(산업)공정 라인 Fume, Gas 정화 & 미세먼지 정화 Solution을 제공한다. 실시간으로 배출 상태와 온도, 습도, 풍압, 풍량, 풍속 모든 수치는 LCD 화면 & 관제시스템으로 확인할 수 있다.

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모바일 관제시스템 더 알아보기 IOS 지원
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제품소개
SPECIFICATIONS
기능 수량 내용
Air Type Fan Type
TFT COLOR LCD 1 320*240 해상도
온도 입력용
(피토관 사용)
1 Thermocopule K 타입 ( 정밀도는 0.1°C )
온도 측정 범위 -25°C -150°C
온도 입력용
(피토관 사용)
1 Thermocopule K 타입 ( 정밀도는 0.5°C )
온도 측정 범위 -50°C -200°C
Dual 압력 입력용
Analog Input
1
최대 1000mmH2O(=1.45PSI) 지원
정밀도 : ±0.25 %FSS BFSL
동작온도 범위 : -40°C -85°C
보상온도 범위 : 0°C -50°C
측정대상 : Air
내부 보도 온도 감지 센서 1 보드 내부 비정상 온도 감지
USB 1 USB B type(Full Speed 지원)
통신지원 1 WIFI 802.11b, RS485, LAN 지원
릴레이 1 히터 구동용
디지털 출력 5
내부 솔레노이드 벨브 구동용 (500mA)
외부 솔레노이드 벨브 구동용
Fan 구동용
구동 전류 1A 지원
Fan flow control 지원
Key button 5 상,하,좌,우,엔터 지원
메인 전원 1 DC24V@1A